潔凈車間不同于一般的舒適性空調(diào)房間，室內(nèi)的溫濕度控制要求精度較高。同時對空氣的潔凈度也有較高要求，使得換氣次數(shù)較多，新風(fēng)量大，甚至有直排系統(tǒng)。下面磊建凈化來談?wù)劃崈糗囬g溫濕度要求和潔凈車間溫濕度如何控制。

　　一、潔凈車間溫濕度要求

　　潔凈車間對于溫濕度的控制主要取決于其生產(chǎn)工藝。但在滿足加工工藝的條件下，還應(yīng)考慮到車間內(nèi)人的舒適感。因為人出汗以后，會對產(chǎn)品產(chǎn)生污染。那么，各行業(yè)中無塵車間的溫濕度標準到底有什么不同呢?

　　01、藥物生產(chǎn)車間溫濕度要求

　　潔凈區(qū)(無菌環(huán)境)：溫度宜在 20-24℃，相對濕度：45-60%RH;

　　控制區(qū)(無菌環(huán)境)：溫度宜在 18-26℃，相對濕度：50-65%RH。

　　02、食品行業(yè)

　　食品車間對對生產(chǎn)潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級及萬級部分行業(yè)要求千級/百級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌，細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。如果濕度過高，產(chǎn)品會變質(zhì)。同時，溫度不宜過高。如果溫度過高，生產(chǎn)者在出汗后會暴露在產(chǎn)品中，這會對產(chǎn)品造成污染并降低產(chǎn)品的質(zhì)量/產(chǎn)量。

　　03、　電子行業(yè)

　　在電子制造領(lǐng)域生產(chǎn)區(qū)最重要的環(huán)節(jié)是防靜電，這將對電子產(chǎn)品產(chǎn)生不利影響并降低產(chǎn)品的產(chǎn)量，對產(chǎn)品造成短路甚至造成員工導(dǎo)電暈倒事故。故而電子行業(yè)凈化車間的相對濕度不應(yīng)低于30%，為了減少靜電的產(chǎn)生，凈化車間的抗靜電區(qū)域的相對濕度不低于50%，過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子行業(yè)凈化車間無特殊要求的情況下，溫度控制在23 ±2℃左右，相對濕度控制在55±5%RH之間，在這種生產(chǎn)環(huán)境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

　　04、集成電路生產(chǎn)加工行業(yè)

　　在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

　　綜合上述領(lǐng)域，我們可總結(jié)出溫濕度對潔凈車間的影響有：出現(xiàn)靜電荷、細菌生長、人員的舒適感、金屬腐蝕、吸水性等幾個方面。

　　二、潔凈車間溫濕度如何控制

　　并且外界的溫濕度變化對室內(nèi)溫濕度影響較大，所以需要選擇合理的溫濕度控制方案，才能確保室內(nèi)的溫濕度達到設(shè)計要求。

　　01、為何潔凈室需要溫濕度控制進行?

　　潔凈室的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對溫濕度的要求也越來越嚴的趨勢。

　　一般來說，由于加工精度越來越精細，所以對溫度波動范圍的要求越來越小。

　　例如，在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫。同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多。

　　相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。

　　此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。

　　相對濕度越高，粘附的難去掉，但當相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)最佳溫度范圍為35-45%。

　　02、溫濕度控制的特性以及常見問題

?。?）、 溫濕度控制的特性

　　對濕空氣單純地加熱或制冷過程，是環(huán)境含濕量保持不變的過程，即絕對濕度保持不變的過程。

　　濕空氣經(jīng)過盤管加熱，溫度升高而相對濕度下降;相反，對冷卻過程，溫度下降而相對濕度相應(yīng)升高。

　　因此，我們可以得出，溫度和相對濕度是兩個不同方向的控制量，要使溫濕度同時向相同的趨勢變化，單純地靠加熱/冷卻過程是不能實現(xiàn)的。

　　冷卻去濕過程是濕空氣經(jīng)冷卻達到飽和后繼續(xù)制冷的過程，濕空氣經(jīng)過冷卻盤管析出水滴，從而降低了絕對濕度，起到降濕的作用。

　　所以，可以將空氣處理過程分為加熱、加熱加濕、制冷、制冷再熱和制冷加濕等5個部分。

　（2）、序號控制狀態(tài)控制方式

　　1、濕度過警戒濕度加熱

　　2、溫度低、濕度低加熱加濕

　　3、溫度高、濕度低但絕對濕度高制冷

　　4、溫度低、濕度高制冷加熱

　　5、溫度低、濕度低但絕對濕度低制冷加濕

　　03、 實際過程中所采用的方法以及常見問題

　　(1)冷熱水閥的控制問題

　　溫度變化的方向與冷/熱水閥的動作方向相反，通常是采用冬夏季分開的運行模式。這樣的做法在過度季節(jié)會難以判斷和確定運行模式，很容易造成室內(nèi)溫濕度的失調(diào)。

　　(2)常規(guī)的處理方法及問題

　　為了解決除濕問題，通常采用濕度優(yōu)先的方法，冷水閥主要用來除濕，同時也造成溫度的下降，然后通過熱水閥的再熱，使溫濕度均能達到所要求的值。

　　這樣的做法雖然可以滿足設(shè)計要求，但在相當多的時候，冷熱水閥使能量相互抵消，造成了能源的浪費。

　　據(jù)統(tǒng)計，目前我國空調(diào)系統(tǒng)的能耗占整個建筑物能耗的50%～60%。

　　因此，對空調(diào)設(shè)備進行優(yōu)化控制，選擇合理的控制方法，對建筑節(jié)能具有重要的意義。

　　單純地采用回風(fēng)溫度閉環(huán)控制冷/熱水閥以控制室內(nèi)溫度的做法，其PID參數(shù)難以整定在合適的范圍內(nèi)，很難保證系統(tǒng)的穩(wěn)定性和精度。

　　如果調(diào)節(jié)動作慢，造成提前開機時間過長;調(diào)節(jié)動作快，則很容易造成系統(tǒng)的超調(diào)，甚至產(chǎn)生震蕩現(xiàn)象

　　所以潔凈車間的溫濕度控制由其生產(chǎn)工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調(diào)精度(這里主要指溫濕度)要求高;后兩者為較大的生產(chǎn)車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。